Розроблені методи та програмні засоби молекулярно-динамічного моделювання взаємодії іонних пучків з радіаційно-пошкодженими поверхнями твердого тіла, що володіють розвиненим рельєфом на різних масштабах. З їх допомогою універсальним чином на базі підходу фрактальної геометрії описуються (Рис. 1):
 нанорозмірна морфологія опроміненої поверхні; | |
| макрорельєфи, що виникають при іонному травленні. |
Рис. 1 – Макрорельєфи, що виникають при іонному травленні
Результати моделювання показали, що характеристики ковзного відбиття іонів від фрактальних поверхонь підкоряються скейлінговим співвідношенням, які можна використовувати для аналізу ступеня радіаційного порушення поверхні при іонній обробці (Рис. 2).
Рис. 2 – Результати моделювання