Разработаны методы и программные средства молекулярно-динамического моделирования взаимодействия ионных пучков с радиационно-поврежденными поверхностями твердого тела, обладающими развитым рельефом на различных масштабах. С их помощью универсальным образом на базе подхода фрактальной геометрии описываются (Рис. 1):
 наноразмерная морфология облученной поверхности; | |
| макрорельефы, возникающие при ионном травлении. |
Рис. 1 – Макрорельефы, возникающие при ионном травлении
Результаты моделирования показали, что характеристики скользящего отражения ионов от фрактальных поверхностей подчиняются скейлинговым соотношениям, которые можно использовать для анализа степени радиационного нарушения поверхности при ионной обработке (Рис. 2).
Рис. 2 – Результаты моделирования